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智能勻膠機(jī)

更新時(shí)間:2019-08-30點(diǎn)擊次數(shù):1022

智能勻膠機(jī) 型號(hào):SC-100

SC-100智能勻膠機(jī)主要于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。  
系統(tǒng)配置高速變頻馬達(dá),變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時(shí)間,使整個(gè)涂膠過程,穩(wěn)定。 
SC-100智能勻膠機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)
 系統(tǒng)支持10個(gè)工藝組存儲(chǔ),每個(gè)工藝組可設(shè)置4段運(yùn)行速度及運(yùn)行時(shí)間 
  勻膠速度:  0~8000rmp可調(diào) 
  勻膠時(shí)間:  1~9999s任意時(shí)間可設(shè)置 
  旋轉(zhuǎn)加速度:0~12000rpm/sec   由低速到高速加速時(shí)間0.1s~0.5s 
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp 
  涂膠均勻性:±3% 
  可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞) 
  基片厚度:  ≤5mm 
SC-100智能勻膠機(jī)

其 它 配 置設(shè)備配置Ф260mm接膠裝置(不銹鋼材質(zhì)) 
電機(jī)額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp 
真空系統(tǒng):FY-1C真空泵一臺(tái),抽氣速率60L/min(標(biāo)配) 
  AP-500V無(wú)油真空泵,抽氣速率100L/min(選配) 
樣片托:隨機(jī)配1英寸一個(gè),2英寸一個(gè),其它規(guī)格尺寸按要求定做。 
輸入電源: AC220V/240V  50HZ 
機(jī)身尺寸: 280×360×240mm 
機(jī)身重量:10Kg

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